微電子超純水是指化學純度高的水，其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質純度要求相當高，所以一般應用普遍的還是電子行業。
微電子超純水設備技術特點：
1、一種采用離子交換樹脂其優點在于初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環境有一定的破壞。
2、二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設備再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。
3、三種采用反滲透作預處理再配上電去離子裝置，這是目前制取超純水經濟，環保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性。
微電子超純水設備維護方式：
為了保證超純水設備長期穩定運行、時刻保持出水質量符合生產使用標準，必須對設備進行定期維護。EDI模塊是純水制取裝置中的一項技術，此模塊的價位較為昂貴。所以為了降低企業投資成本，也要對它進行保養維護。為了避免雜質在模塊內堆積，要對其進行定期清洗。在設備運行過程中保持壓力穩定。膜元件在純水制取中起到去除污染物質的功效，它具有孔徑微小的特點，所以，對該元件要進行定期清洗和更換，避免雜質常年堆積導致膜元件受到污染或者堵塞，直接影響產水質量。
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