TOC超純水設備

微(wei)電子(zi)行業制備超純水流程中，因紫外線(xian)技術在超純水高品質要求(qiu)中不引入新的物質，而得到廣泛應用(yong)。

有(you)機物是超純水(shui)系統中(zhong)(zhong)最(zui)難控制的污染，隨著集成電(dian)路臨界(jie)尺寸不(bu)斷縮小挑戰，對超純水(shui)中(zhong)(zhong)TOC值的要求(qiu)越來越高(gao)，因此，如何(he)(he)配置紫外線，如何(he)(he)確認配置中(zhong)(zhong)紫外線設備的有(you)效(xiao)紫外劑量，進而使TOC去(qu)除(chu)合格且水(shui)中(zhong)(zhong)溶解氧(yang)不(bu)升(sheng)高(gao)，安力斯(si)將為(wei)您解決這些運營(ying)困(kun)擾。    

185nmUV主要(yao)用(yong)于(yu)去除超純水制備過程中的TOC，使出水滿足美國ASTM超純水水質標(biao)準及(ji)電子工業部電子級水水質標(biao)準。

產品介紹：

EX-UPW-TOC產品系列是一款適用于(yu)超純水(shui) (UPW) 制備(bei)(bei)中對總有(you)(you)機(ji)碳(tan) (TOC) 進(jin)行(xing)降解的(de)先(xian)進(jin)可(ke)靠(kao)系統。通過更高185nm穿透率(lv)、實(shi)時在線(xian)的(de)紫外(wai)線(xian)強度監(jian)測、本(ben)地/遠程的(de)智能控制，實(shi)現(xian)高效(xiao)、安全(quan)可(ke)控的(de)總有(you)(you)機(ji)碳(tan) (TOC) 降解。該設備(bei)(bei)在超純水(shui)制備(bei)(bei)工藝中，可(ke)使超純水(shui)TOC降至1ppb以下。

產品主(zhu)要組成(cheng)(cheng)：高強度185nm的紫(zi)外(wai)燈管，高輸(shu)出(chu)石英套管，內外(wai)電解(jie)拋(pao)光(guang)的一體(ti)化紫(zi)外(wai)反應器(qi)，高度精確的UV強度傳感(gan)器(qi)及智(zhi)能自控系統組成(cheng)(cheng)。

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產品規格：