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微電子行業制備超(chao)純水流(liu)程中(zhong),因紫外線技術在超(chao)純水高品質要求(qiu)中(zhong)不引入新(xin)的物質,而得到(dao)廣泛(fan)應用。
有機物是超純水(shui)系統(tong)中(zhong)最難控(kong)制(zhi)的(de)污染,隨著集成電路(lu)臨界(jie)尺寸不(bu)斷縮小挑戰,對超純水(shui)中(zhong)TOC值的(de)要求越(yue)(yue)來越(yue)(yue)高,因(yin)此,如(ru)何(he)配置紫外線,如(ru)何(he)確(que)認配置中(zhong)紫外線設備(bei)的(de)有效(xiao)紫外劑量,進而使TOC去除(chu)合格(ge)且水(shui)中(zhong)溶解氧不(bu)升(sheng)高,安力斯將為您解決這(zhe)些運營困(kun)擾。
185nmUV主要(yao)用(yong)于去除(chu)超純(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)制備過程中的TOC,使(shi)出水(shui)(shui)(shui)(shui)滿足美國ASTM超純(chun)水(shui)(shui)(shui)(shui)水(shui)(shui)(shui)(shui)質標準及電子(zi)(zi)工業部電子(zi)(zi)級(ji)水(shui)(shui)(shui)(shui)水(shui)(shui)(shui)(shui)質標準。
TOC超純水
產品規格:
處理水量 | 2~60m3/h |
燈管配置 | 12~48支 |
燈管類型 | 85w/155w(185/254nm雙波段) |
石英套管 | T>80%@185nm |
鎮流器 | 50~100%輸出功(gong)率可調 |
反應器材質 | 316L |
潔凈等級 | 內外電解拋(pao)光(guang)、表面光(guang)潔度(du)10以(yi)上(≤Ra0.2) |
法蘭尺寸 | DN50~DN200 |
額定壓力 | PN10 |
控制柜等級 | IP55,碳鋼噴塑 |
控制系統 | 本地/遠程(cheng)、觸摸屏、連接SCADA系統(tong) |
UV強度傳感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
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