半導體超純水說明

n 產品介紹：

EX-UPW-TOC產(chan)品系(xi)列是一款適用于(yu)純水(shui)（UPW）制(zhi)備(bei)(bei)中對總有機(ji)碳（TOC）進行降(jiang)解的(de)(de)先進可(ke)靠系(xi)統。通(tong)過更高185nm穿透率、實時(shi)在線的(de)(de)紫(zi)外線強度監測、本地/遠程的(de)(de)智能控制(zhi)，實現高效、安全可(ke)控的(de)(de)總有機(ji)碳（TOC）降(jiang)解。該設備(bei)(bei)在超(chao)純水(shui)制(zhi)備(bei)(bei)工藝(yi)中，可(ke)使純水(shui)TOC降(jiang)至1ppb以(yi)下。

n 主(zhu)要優勢：

2 安(an)全可控

真空級平行光束儀(yi)進行理論安全劑量指導設計，足夠(gou)紫(zi)外線劑量實時(shi)輸出可(ke)調，系統智能自控。

2 更高去除效率

更高純(chun)石英玻璃，系統185nm紫外線強度輸(shu)出(chu)較傳統產品(pin)提高50%以上。

2 CFD流體(ti)模擬

進行細節模擬設計，提(ti)高處理效(xiao)率

2 性能穩定、操作簡便

本地與遠程控制，配備PLC、觸(chu)摸(mo)屏，紫外強度實時顯示及預警(jing)

2 先進(jin)的(de)加工(gong)工(gong)藝

采用先(xian)進設備、工藝加(jia)工，反應器(qi)內外電解拋光，Ra<0.2

2 多形式選(xuan)擇(ze)

滿足現場多樣化安裝(zhuang)形式，產(chan)品(pin)可(ke)選擇成套撬裝(zhuang)，占地面(mian)積小

半導體超純水產品規格：

半導體超純水說明應用領域：

1. 半導體材料、器(qi)件、印刷電(dian)路(lu)板和集(ji)成電(dian)路(lu)板

2. 電解電容器(qi)生產鋁箔及工作件(jian)的清(qing)洗

3. 電(dian)(dian)子管(guan)(guan)生(sheng)產、電(dian)(dian)子管(guan)(guan)陰極(ji)涂敷碳酸鹽配(pei)液

4. 黑(hei)白顯像(xiang)管(guan)熒光屏的生(sheng)產、波殼清洗(xi)、沉淀、洗(xi)膜、管(guan)頸(jing)清洗(xi)

5. 液晶顯示器(qi)的生產(chan)、屏面清洗(xi)

6. 集成電路生產中高純水清洗(xi)硅片

7. LCD液(ye)晶顯(xian)示屏、PDP等離子顯(xian)示屏的生產(chan)