半導體超純水說明

n 產品介紹：

EX-UPW-TOC產品系(xi)列(lie)是一款適用(yong)于純(chun)水(shui)（UPW）制備中對總有機碳（TOC）進行(xing)降(jiang)解(jie)的先進可(ke)靠系(xi)統。通(tong)過更高185nm穿(chuan)透率、實時在線(xian)的紫外(wai)線(xian)強度監測、本地/遠程的智(zhi)能控(kong)(kong)制，實現高效、安全可(ke)控(kong)(kong)的總有機碳（TOC）降(jiang)解(jie)。該設備在超純(chun)水(shui)制備工藝中，可(ke)使純(chun)水(shui)TOC降(jiang)至1ppb以下。

n 主要優勢：

2 安全可控

真空級平行光束儀進行理論安(an)全劑(ji)量指導(dao)設計，足夠紫外線(xian)劑(ji)量實時輸(shu)出可調，系統智能(neng)自(zi)控(kong)。

2 更高去除效率

更(geng)高(gao)純石英玻璃，系(xi)統185nm紫外(wai)線強(qiang)度輸出較傳(chuan)統產品(pin)提高(gao)50%以上。

2 CFD流體模擬

進行細節模擬設計，提(ti)高(gao)處理效率

2 性能穩定、操作簡便

本地(di)與遠程(cheng)控制，配備PLC、觸摸(mo)屏，紫外強度實時(shi)顯示及預警(jing)

2 先進的加工工藝

采用先進設備(bei)、工(gong)藝加(jia)工(gong)，反應器內外電(dian)解(jie)拋光，Ra<0.2

2 多形式選擇

滿足現場(chang)多樣化安裝形式(shi)，產品可選(xuan)擇成套撬(qiao)裝，占地面積小

半(ban)導體(ti)超純水產品規格(ge)：

半導體超純水說明應用領域：

1. 半導體材料、器件、印刷電路(lu)(lu)板和(he)集(ji)成(cheng)電路(lu)(lu)板

2. 電(dian)解電(dian)容器生(sheng)產(chan)鋁箔(bo)及工作件的清洗

3. 電子管生產、電子管陰極涂敷碳(tan)酸鹽配液

4. 黑(hei)白顯像管(guan)(guan)熒光屏(ping)的生產(chan)、波殼清洗、沉淀、洗膜、管(guan)(guan)頸清洗

5. 液晶顯示器(qi)的生產(chan)、屏面清洗

6. 集成電(dian)路(lu)生產中高(gao)純水(shui)清洗硅片

7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產